一條DNA的寬度？半導體製程精密到這種程度，也太扯了吧！哈利直接穿進SEMICON Taiwan的Dream Fab，把晶圓廠的無塵室、EUV微影、晶片測試全部搬到展場，這支影片帶你近距離看一顆晶片從無到有的旅程。

1. 00:00半導體製程精密到只有一條DNA寬度
2. 00:21進風淋室用高速氣流吹除身上微粒
3. 00:48CMP研磨墊把晶圓表面磨到奈米級平坦
4. 01:11EUV微影用13.5奈米波長印電路圖
5. 01:25探針卡10萬根探針檢測晶片良率
6. 01:51天車沿天花板軌道自動搬運晶圓

無塵室比你想的還嚴格

進到Dream Fab第一關就是穿無塵衣，等級要求到Class 10，一點皮屑都是巨大汙染物。腳下地板整個架高，蜂巢狀鋁合金板能承重3000公斤，氣流從上往下帶走微塵，管線全藏在地板下方，連地板都在為製程服務。

三大製程一次看懂

CMP研磨把奈米級高低差修到極度平坦，清洗機三秒洗完一片晶圓。EUV微影用13.5奈米極紫外光，把像城市一樣複雜的電路圖印上去。探針卡最多10萬根比睫毛還細的探針，裝在17公斤的007手提箱裡檢測晶片電性。

搬運也是精密工程

晶圓在工廠裡不是人搬的，裝在FOUP盒子裡由天車沿天花板軌道運送，軌道精準到工差不超過一公分。走完一圈才懂，從製程、檢測到搬運，每個環節都在挑戰人類工程的極限。

值得下載嗎？值得。如果你對半導體只有「很貴」的印象，這支影片用展場實機讓你看懂製程細節，比看課本圖解有感覺多了。